一种用于PECVD装置的悬臂式推拉舟系统时间：2012-10-10 作者：admin
| 申请号：201020590341 | 申请日：2010年10月29日 | | 发明公开号： | 公开日： | | 公告号：201908132U | 公告日：2011年7月27日 | | 授权日：2011年7月27日 | 授权公告日：2011年7月27日 | | 国家/省市：中国广州 | 范畴分类号：25F | | 代理机构：广州市华学知识产权代理有限公司(44245) | 代理人：李卫东 | | 代理机构地址：广东省广州市天河区五山华南理工大学国家大学科技园（北区）1号楼N201-202室(510640) | | 申请人：华南理工大学 | | 联系地址：广东省广州市天河区五山路381号 | | 邮编：510640 | | 发明人：张宪民;陈家钊;贺振兴;欧阳高飞;邝泳聪 | | IPC：C23C 16/54;H01L 31/18 | | ECLA： | | UCLA： | | 发明名称：一种用于PECVD装置的悬臂式推拉舟系统 | | 摘要：本实用新型公开一种用于PECVD设备的悬臂式推拉舟系统，包括悬臂杆机构、侧面连接机构和滚动直线导套副机构，用于作为悬臂杆机构水平运动和垂直运动导向的滚动直线导套副机构设于PECVD设备的机架上，悬臂杆机构固定于侧面连接机构上，侧面连接机构与滚动直线导套副机构连接，滚动直线导套副机构包括固定板、水平传动组件和垂直传动组件，通过水平传动组件和垂直传动组件分别控制悬臂杆机构带动原料进行水平运动和垂直运动。本悬臂式推拉舟系统采用由悬臂杆伸入反应腔取放石墨舟的形式，可简化输送系统，提高输送效率；采用侧面固定的形式，可避免石墨舟上硅片碎片掉落到系统上，影响系统正常动作，并可节省空间，可实现多推拉舟同时运动。 | | 权利要求：1.一种用于PECVD装置的悬臂式推拉舟系统，其特征在于，包括悬臂杆机构、侧面连接机构和滚动直线导套副机构，用于作为悬臂杆机构水平运动和垂直运动导向的滚动直线导套副机构设于PECVD设备的机架上，悬臂杆机构固定于侧面连接机构上，侧面连接机构与滚动直线导套副机构连接。 | | 关键词：CVD;悬臂式;悬臂杆;杆机构;连接机;固定板;传动组;反应腔;石墨舟;省空间;推拉;侧面;滚动;直线;导套;副机;运动;垂直;导向;机架 | | 优先权： |
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